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 Chemische Charakterisierung von Bor- und Siliziumcarbonitridschichten. Bestimmung der chemischen Bindungen mittels TXRF-NEXAFS und XPS
Наименование:

Chemische Charakterisierung von Bor- und Siliziumcarbonitridschichten. Bestimmung der chemischen Bindungen mittels TXRF-NEXAFS und XPS

автор Olaf B. издательство Книга по Требованию География
Cтраниц 128        мягкая обложка       
Аннотация:Zur Bestimmung der chemischen Bindungen wurden Messungen mittels TXRF-NEXAFS und XPS durchgefuehrt. Ziel der hier dargestellten Untersuchungen war die Bestimmung der chemischen Bindungen in Duennschichtsystemen aus BCN und SiCN. Bereits 1989 wurden besonders aussergewoehnliche Eigenschaften fuer ein ss-Kohlenstoffnitrid vorausgesagt, was einen weltweiten Boom zur Herstellung und Charakterisierung solcher Materialien zur Folge hatte. Zur Charakterisierung standen verschiedene BCN- und SiCN-Probenserien zur Verfuegung, die mittels CVD-Prozessen aus verschiedenen Ausgangsstoffen und der Zugabe von weiteren Reaktions-/Inertgasen synthetisiert waren. Spaeter gerieten auch ternaere Systeme wie BCN und SiCN in den Fokus des Interesses. Der Vorteil solcher Systeme wurde darin gesehen, dass diese die Eigenschaften von nitridischen und carbidischen Keramiken vereinen bzw. verbessern koennen. Im Zuge weiterer Forschung wurde versucht, die Carbonitride durch verschiedene Syntheseverfahren als duenne Schichten abzuscheiden. Aus chemischer Sicht lange Zeit ungeklaert blieb die Frage nach den chemischen Bindungsverhaeltnissen dieser Duennschichtsysteme.
Автор: Olaf B.
Издательство: Книга по Требованию
Год:2010
Цена:
3214 руб
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